Schwerpunkt Ihrer Tätigkeit sind die Entwicklung, Optimierung und Durchführung von Halbleiter-Fertigungsprozessen, speziell die der Lithographie am i-Line Stepper, sowie die Wartung und Reparatur der Prozessanlagen im Reinraum. Sie kontrollieren und dokumentieren die Ergebnisse mittels geeigneter Charakterisierungsmethoden (z. B. Lichtmikroskopie, Rasterelektronenmikroskopie) und führen Lackdicken- sowie CD-Struktur-Messungen am Inspektionsmikroskop durch. Sie übernehmen die Betreuung der beiden i-Line Stepper sowie der Inspektionsmikroskope. Dabei erstellen und verwalten Sie auch die Jobs und Messprogramme an den Maschinen, arbeiten mit an der Beschaffung, Aufstellung und Inbetriebnahme von Neuanlagen und sind für das Ersatzteilmanagement und Wartungspläne zuständig.